半導(dǎo)體企業(yè)定制高濃度臭氧發(fā)生檢測系統(tǒng)
3S-B20臭氧輸送系統(tǒng),配置Apex H30 高濃度臭氧發(fā)生器,雙光路紫外臭氧在線檢測儀,質(zhì)量流量計,泄露報警器等,獨特的風冷設(shè)計,體積小、濃度高、穩(wěn)定性好,是半導(dǎo)體ALD PLD CVD ALE MBE 等應(yīng)用的不二選擇。
半導(dǎo)體企業(yè)定制高濃度臭氧發(fā)生檢測系統(tǒng)
3S-B20臭氧輸送系統(tǒng),配置Apex H30 高濃度臭氧發(fā)生器,雙光路紫外臭氧在線檢測儀,質(zhì)量流量計,泄露報警器等,獨特的風冷設(shè)計,體積小、濃度高、穩(wěn)定性好,是半導(dǎo)體ALD PLD CVD ALE MBE 等應(yīng)用的不二選擇。