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日本住友SGX系列半導體用臭氧水生產(chǎn)設備? SGX-1G21SNC

型號:SGX-1G21SNC
品牌:日本住友
臭氧濃度:0-150ppm
臭氧產(chǎn)量:150ppm
使用氣源:氧氣源
產(chǎn)地:日本
冷卻方式:水冷
設備尺寸:定制
整機重量:20~100Kg
推薦指數(shù):comment rank 5
購機說明:
提前了解實驗要求,才能更好的為您推薦合適的實驗機型。咨詢在線客服或致電:010-82461830,謝謝~

支持定制,滿足實驗需求
配件完善,安裝如此簡單
順豐快遞,包裝配送無憂
視頻指導,問題及時解決
產(chǎn)品分類樹

產(chǎn)品詳情

實驗現(xiàn)場

臭氧知識

參考文獻

住友的潔凈臭氧水制造設備是將潔凈臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的臭氧氣體溶解于超純水中,生成臭氧水的裝置。
更大限度地抑制微粒子和金屬污染的溶出,在半導體、液晶等電子設備材料的制造過程中,用于去除有機物、表面改性等用途,得到眾多客戶的高度評價評價。。
 
應用領域
半導體
各種晶圓
FPD(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
光罩
硬盤
 
SGX-1G21SNC規(guī)格
臭氧水濃度:5至100ppm
臭氧水流量:1 至 120 升/分鐘
臭氧水供給壓力:max.0.25MPa
原料氣:氧氣,(二氧化碳作為濃度衰減的對策)
電源:AC200V 三相


SGX-1B11SN規(guī)格
臭氧水濃度 5至150ppm
臭氧水流量 1 至 90 升/分鐘
原料氣 氧氣,(二氧化碳作為濃度衰減的對策)
電源 AC200V 三相

SGXG規(guī)格
臭氧水濃度:5-30ppm
臭氧水流量:1 至 60 升/分鐘
原料氣:氧氣(二氧化碳作為濃度衰減的對策)
電源:AC200V 三相
 
特征
能夠處理高濃度和大流量
占地面積小,結構緊湊
低廉的運行成本(低功耗、更換部件少、放電電池壽命長)
高耐壓、長壽命的高可靠性放電電池
快速啟動和出色的集中響應能力
通過連接臭氧濃度計(反饋控制)實現(xiàn)出色的濃度穩(wěn)定性
CE/NRTL 認證,符合 SEMI 標準
停機時無需維護
也可提供不含硝酸的臭氧水
Q:臭氧在水中的利用率問題
A:問:我測了一下,好像只有10%左右。我是用200mg/h左右的臭氧機,6L水容量的反應器。 答: 臭氧;
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