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科研用高濃度高純度臭氧發(fā)生器(液化型)

產(chǎn)品型號:3S-B50
品牌:同林
臭氧濃度:>99%
臭氧產(chǎn)量:定制
使用氣源:氧氣
推薦指數(shù):comment rank 5
冷卻方式:自動冷卻
設備尺寸: 390*695*1190mm
整機重量:30kg
產(chǎn)地: 北京
購機說明:
提前了解實驗要求,才能更好的為您推薦合適的實驗機型。咨詢在線客服或致電:010-82461830,謝謝~~

支持定制,滿足實驗需求
配件完善,安裝如此簡單
順豐快遞,包裝配送無憂
視頻指導,問題及時解決
產(chǎn)品分類樹

產(chǎn)品詳情

實驗現(xiàn)場

臭氧知識

參考文獻

3S-B50高純臭氧發(fā)生器是液化和儲存臭氧氣體并連續(xù)供應高純度臭氧氣體的裝置。由于高純度的臭氧水平,它可以用作半導體工藝中的氧自由基產(chǎn)生源。為了安全起見,本機具有足夠的安全措施。

優(yōu)勢:
●超高純臭氧制備
●臭氧濃度高于99.5%
●液化池容積限制設計
●安全閥設計
●急停設計


產(chǎn)品特點
● 全金屬密封臭氧液化池
● 無硅膠吸附劑
● 閉循環(huán)制冷機自動控溫
● 提純速度快,準備時間只需30分鐘;提純1小時,能產(chǎn)出約4標升高純臭氧氣體,可滿足大部分用戶十小時以上的生長需求
● 設計緊湊
● 操作簡便,即起即停
● 高純臭氧應用領域:化學氣相沉積(CVD),原子層沉積(ALD),氧化物生長,表面處理,粒子清潔,光刻膠去除,灰化等。
臭氧輸出束流的穩(wěn)定性和持續(xù)性

日本進口高純臭氧系統(tǒng)
日本進口高純臭氧系統(tǒng)
將臭氧生成裝置產(chǎn)生的臭氧氣體極度低溫液化后,生成99.99%濃度臭氧。
可以持續(xù)供給99.99%濃度臭氧。
工作原理

臭氧應用


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